环境影响评价师

为了帮助考生系统的复习2013年环境影响评价师考试教材重点，中大网校小编整理了2013年环境影响评价师考试科目《环境影响评价案例分析》中的重点和考点，希望对有所帮助，中大网校祝您考试顺利！

(二)工程污染源分析

本次环境影响评价工程污染源分析的原则和依据是建设单位提交的初步设计， 经评价单位进行物料衡算、类比调查与监测得出的。但应该指出的是本次环境影响评价提出的工程污染源数据是依据前文提到的工艺路线和产量界定的，但该项目实 质是芯片的代加工厂，所有产品是根据市场的需求进行制作的，产品种类、规格多 且不固定，原材料会因产品工艺和类型不同而使用非常多的不同种类，且使用时间、使用量具有波动性的特点，因此，污染物的产生、排放量也具有不确定性。

1. 大气污染源分析

(1) 酸性废气酸性废气主要来自于扩散区、离子植入区、薄膜区、化学研磨区及光罩制作区，包括含氟废气、盐酸、硫酸、硝酸、磷酸、硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、 砷烷(AsH3)等所排出之废气。

(2) 碱性气体碱性气体主要来自扩散区、薄膜区及化学研磨区产生之含氨废气排放。

(3) 有机废气有机废气主要来自于光刻区、扩散区的光阻剂及清洗用之异丙醇等有机溶剂废气。

(4) VOC使用天然气燃烧废气芯片生产后加工工序会有VOC产生，其处理工艺使用天然气助燃方式解决。使用天然气燃烧时NO,的产生量参照北京市环境保 护科学研究院编制的《北京环境总体规划研究》中确定的排放因子，即燃烧1 000m3 天然气NO,的排放量为1.76 kg。802的产生量根据天然气的用量和含硫率求得，即 燃烧1 000 m3天然气S02的排放量约为5.71 X10—3 kg。

燃烧VOC使用的天然气100 m3/h,年总用量为864 000 m3/a (一年按360 d, 一 天按24h计)，烟气排放量为10 644 480m3/a，则本项目FAB VOC使用的天然气燃 烧产生的大气污染物排放量为：NO, 1 520.64 kg/a、S02 4.93 kg/a。

(5) 化学品输送过程中的极微量泄漏管道输送液体的过程中，在管道接口处有极微量液体泄漏。根据类比数据，化学材料在运输过程中，在罐装、管道等接口 处可能的极微量泄漏约为总量的0.05%。本评价考虑的是使用量较大的氟化氢，年使用量按52 075 kg/a计，泄漏量按最坏情况来考虑，为总量的0.8%计，可得到氟化 氢极微量泄漏约为0.048 kg/h。

2. 水污染源分析

本项目水污染源主要包括生产废水和生活污水。

根据本项目的生产工艺和废水水质特征，在生产过程中产生的废水主要可分为含氟废水、研磨废水(分为金属研磨废水、氧化研磨废水、晶背研磨废水)、酸碱废水(包括工艺酸碱废水、洗涤塔废水、纯水系统再生废水)和含氨废水。

此外还有纯水站浓缩废水、工艺设备冷却水、冷冻水和冷却塔排水，为较清洁 废水，作为回用水。

废水处理站主体部分位于CUB2 —层，主要包括含氟废水处理系统、酸碱废水 中和处理系统、污泥处理系统、加药系统、部分废液收集系统、废水处理站控制室及部分处理设施的预留位置;另一部分位于生产厂房FAB 4/ FAB 5/ FAB 6C的一楼， 主要包括化学机械研磨废水、芯片背面研磨废水收集及输送设施。

3. 固体废物

固体废物产生量及其组分，详见表2。

表2固体废物产生量

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