中芯国际集成电路制造(北京)有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目
一、项目工程概况与工程分析
(一)项目背景
(二)项目概况
1.项目组成
2. 总平面布置
二、环境概况
1.地理位置
2.环境质量
3.厂址选择合理性分析
三、工程分析
(一)工艺流程
1.工艺技术方案的确定
2.生产流程及排污节点分析
(二)工程污染源分析
1.大气污染源分析
2.水污染源分析
3.固体废物
4.噪声污染源
(三)平衡分析
1.水平衡
2.物料平衡
3.氟平衡
4.其他物料平衡
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